[发明专利]安装头单元、部件安装装置和基板制造方法

摘要

一种安装头单元、部件安装装置和基板制造方法，该安装头单元包括旋转体、喷嘴和阀门机构。旋转体包括旋转轴；设置在旋转轴内以使负压气体在其内流动的负压路径；使非负压气体在其内流动、设置在旋转轴内以在旋转轴的轴向方向与负压路径并排的非负压路径；以及设置在旋转轴内、以将负压和非负压路径分隔的隔板。喷嘴包括用于使气体在其内流动的流路，与旋转体连接以使流路与旋转体的负压和非负压路径连通，并能通过从负压路径对其提供负压气体而吸附部件。阀门机构在要被提供给喷嘴的气体的负压与非负压状态之间切换。

主权项

一种安装头单元，包括：旋转体，包括：旋转轴，负压路径，设置在所述旋转轴内，且被配置为使负压气体在其内流动，非负压路径，被配置为使非负压气体在其内流动，且设置在所述旋转轴内，以在所述旋转轴的轴向上与所述负压路径呈一条直线，以及隔板，设置在所述旋转轴内，且被配置为将所述负压路径与所述非负压路径分隔；喷嘴，包括被配置为使气体在其内流动的流路，与所述旋转体连接，使得所述流路与所述旋转体的负压路径和非负压路径连通，并且被配置为能够通过被提供来自所述负压路径的负压气体来吸附部件；以及阀门机构，被配置为在要被提供给所述喷嘴的气体的负压状态与非负压状态之间切换；其中，所述负压路径和所述非负压路径同轴设置。