[发明专利]安装头单元、部件安装装置和基板制造方法

权利要求书

1.一种安装头单元，包括：

旋转体，包括：

旋转轴，

负压路径，设置在所述旋转轴内，且被配置为使负压气体在其内流动，

非负压路径，被配置为使非负压气体在其内流动，且设置在所述旋转轴内，以在所述旋转轴的轴向上与所述负压路径呈一条直线，以及

隔板，设置在所述旋转轴内，且被配置为将所述负压路径与所述非负压路径分隔；

喷嘴，包括被配置为使气体在其内流动的流路，与所述旋转体连接，使得所述流路与所述旋转体的负压路径和非负压路径连通，并且被配置为能够通过被提供来自所述负压路径的负压气体来吸附部件；以及

阀门机构，被配置为在要被提供给所述喷嘴的气体的负压状态与非负压状态之间切换；

其中，所述负压路径和所述非负压路径同轴设置。

2.根据权利要求1所述的安装头单元，其中，

所述旋转体的旋转轴包括：

第一端部，以及

第二端部，位于所述第一端部的相对侧，并且

所述安装头单元进一步包括被配置为一体支撑所述旋转轴的第一端部和第二端部的支架。

3.根据权利要求2所述的安装头单元，其中，

所述支架包括：

第一支架部分，包括所述负压气体的供给路径，并与所述旋转轴的第一端部连接，所述负压气体的供给路径与所述旋转轴的负压路径连通，以及

第二支架部分，包括所述非负压气体的供给路径，并与所述旋转轴的第二端部连接，所述非负压气体的供给路径与所述旋转轴的非负压路径连通。

4.根据权利要求3所述的安装头单元，其中，

所述旋转体被形成为使得所述负压路径的容积大于所述非负压路径的容积。

5.根据权利要求4所述的安装头单元，其中，

所述旋转体的旋转轴包括沿所述旋转轴的轴向的通孔，并且

所述旋转体进一步包括具有所述隔板的管状体，在所述旋转轴的通孔内所述管状体距第一端部比距第二端部更近。

6.根据权利要求1所述的安装头单元，其中，

所述旋转体被形成为使得所述负压路径的容积大于所述非负压路径的容积。

7.根据权利要求1所述的安装头单元，其中，

所述阀门机构包括：

壳体，包括连接路径，所述连接路径与所述负压路径和所述非负压路径连接，并且能够向所述喷嘴提供负压气体和非负压气体，所述壳体与所述旋转体连接，以及

阀体，设置在所述壳体内，被配置为在所述负压路径与所述壳体的连接路径的连通以及所述非负压路径与所述连接路径的连通之间切换。

8.根据权利要求1所述的安装头单元，进一步包括：

第二旋转体，包括接合部分，并且可旋转地连接至所述旋转轴的外周部分，其中，

所述旋转体包括与所述第二旋转体的接合部分接合的接合部分，并且被配置为将所述喷嘴保持为能够通过所述第二旋转体的旋转而旋转。

9.根据权利要求8所述的安装头单元，进一步包括：

多个喷嘴，其中，

与所述第二旋转体的接合部分接合的所述接合部分包括分别为所述多个喷嘴设置的多个接合部分，所述多个接合部分在所述多个喷嘴的长度方向上互相偏移。

10.根据权利要求1所述的安装头单元，其中，

所述旋转体包括被配置为支撑多个喷嘴的转台，所述转台包括所述非负压路径和所述负压路径中的每一个的一部分，并且被设置至所述旋转轴的端部。

11.根据权利要求1所述的安装头单元，其中，

所述旋转体的旋转轴包括沿所述旋转轴的轴向的通孔，并且

所述旋转体进一步包括管状体，所述管状体在其一端具有封闭端，所述封闭端用作所述隔板。