[发明专利]安装头单元、部件安装装置和基板制造方法

说明书

技术领域

本公开涉及一种将电子部件安装在基板上的部件安装装置、用于部件安装装置的安装头单元以及制造这样的基板的方法。

背景技术

第3772372号日本专利(下文称为专利文献1)对使用工具头(tool head)的部件装配装置(部件安装装置)进行了说明。在该部件装配装置中，工具头包括吸附和保持电子部件的多个吸嘴。工具头配置为，可在与基板的安装面平行的平面上在基板上方移动，基板为其上要安装电子部件的目标。多个吸嘴安装在固定在基轴的下侧的头部周围。工具头包括对多个吸嘴供给正压空气和负压空气的机构。多个吸嘴通过被供给负压空气将电子部件一一保持，并通过被供给正压空气而将所保持的电子部件安装在基板上。

例如，在基板上安装电子部件时，工具头将头部旋转一个预定旋转角度。这样，工具头按顺序一一选择多个吸嘴，并将吸嘴保持的每个电子部件安装在(例如)单个基板上。

在专利文献1的工具头中，为了单独形成正压和负压路径，在工具头的基轴内提供管状件。具体地，正压空气提供给管状件，负压空气提供给管状件外部的基轴。

发明内容

但是，问题在于，专利文献1的工具头的结构复杂。

因此，需要提供一种结构相对简单的安装头单元、使用该安装头单元的部件安装装置和基板制造方法。

根据本公开的一个实施方式，提供了一种包括旋转体、喷嘴(nozzle，吸嘴)和阀门机构的安装头单元。

旋转体包括旋转轴、负压路径、非负压路径和隔板。

负压路径设置在旋转轴内，用于使负压气体在其内流动。

非负压路径用于使非负压气体在其内流动，设置在旋转轴内，以在旋转轴的轴向方向与负压路径呈一条直线。

隔板设置在旋转轴内，用于将负压路径与非负压路径分隔。

喷嘴包括用于使气体在其内流动的流路，与旋转体连接，使流路与旋转体的负压和非负压路径连通，并能通过从负压路径对其提供负压气体而吸附部件。

阀门机构用于在将提供给喷嘴的气体的负压与非负压状态之间切换。

在本公开的该实施方式中，负压路径和非负压路径在旋转体的旋转轴的轴向方向互相呈一条直线(排成行，对准)。因此，负压气体和非负压气体分别从旋转轴的一部分和与该部分分隔的另一部分提供给负压路径和非负压路径。即，在本公开的该实施方式中，与相关技术不同，需要将管状件插入基轴中，以将负压路径与非负压路径在轴的径向方向分隔，因此，安装头单元的结构可简化。

旋转体的旋转轴可包括第一端部和第一端部的相对侧上的第二端部。进一步，安装头单元可进一步包括用于一体支撑旋转轴的第一端部与第二端部的支架。

支架一体支撑旋转轴的第一端部与第二端部，因此，可减少旋转轴的后冲。

支架可包括第一支架部分和第二支架部分。

第一支架部分包括负压气体的供给路径，并与旋转轴的第一端部连接，负压气体的供给路径与旋转轴的负压路径连通。

第二支架部分包括非负压气体的供给路径，并与旋转轴的第二端部连接，非负压气体的供给路径与旋转轴的非负压路径连通。

这样，减少旋转轴的后冲的支架可分别从供给路径向旋转轴内的负压路径和非负压路径提供负压空气和非负压空气。

旋转体可形成为使负压路径的容积大于非负压路径的容积。这样，可增强利用喷嘴的负压吸附部件的响应。

旋转体的旋转轴可包括沿旋转轴的轴向的通孔。进一步，旋转体可进一步包括具有隔板的管状体，在旋转轴的通孔内管状体距第一端部比距第二端部更近。

通过将管状体插入旋转轴，可易于制造包括负压路径、非负压路径和隔板的旋转体。

负压路径和非负压路径可同轴设置。这样，旋转轴可较细，由此可实现旋转体的小型化。

阀门机构包括壳体和阀体。

这种情况下，壳体包括连接路径，连接路径与负压路径和非负压路径连接，并能向喷嘴提供负压气体和非负压气体。壳体与旋转体连接。

进一步，阀体设置在壳体内，用于在负压路径与壳体的连接路径的连通以及非负压路径与连接路径的连通之间切换。

安装头单元可进一步包括第二旋转体，第二旋转体包括接合部分，并与旋转轴的外周部分旋转连接。这种情况下，旋转体可包括与第二旋转体的接合部分接合的接合部分，并将喷嘴保持为可由第二旋转体的旋转而旋转。

第二旋转体的旋转可通过接合部分旋转喷嘴。