[发明专利]真空系统兼容的同轴精密线性推进装置有效
| 申请号： | 201310052836.1 | 申请日： | 2013-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN103996417A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 武荣庭;郇庆;闫凌昊;高鸿钧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;王颖 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于，包括：一波纹管和一波纹管的同轴线性驱动组件；该波纹管的同轴线性驱动组件包含一左旋驱动件、一连接件、以及一右旋驱动件，该连接件的两端分别连接该左旋驱动件以及该右旋驱动件，该左旋驱动件、该连接件以及该右旋驱动件均为中空式结构，且形成一容置空间，该波纹管设置在该容置空间内，且该波纹管的两端分别固定在该左旋驱动件和该右旋驱动件上。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 兼容 同轴 精密 线性 推进 装置 | ||
【主权项】：
一种真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于，包括：一波纹管和一波纹管的同轴线性驱动组件；该波纹管的同轴线性驱动组件包含一左旋驱动件、一连接件、以及一右旋驱动件，该连接件的两端分别连接该左旋驱动件以及该右旋驱动件，该左旋驱动件、该连接件以及该右旋驱动件均为中空式结构，且形成一容置空间，该波纹管设置在该容置空间内，且该波纹管的两端分别固定在该左旋驱动件和该右旋驱动件上。
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