[发明专利]真空系统兼容的同轴精密线性推进装置

权利要求书

1.一种真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于，包括：一波纹管和一波纹管的同轴线性驱动组件；该波纹管的同轴线性驱动组件包含一左旋驱动件、一连接件、以及一右旋驱动件，该连接件的两端分别连接该左旋驱动件以及该右旋驱动件，该左旋驱动件、该连接件以及该右旋驱动件均为中空式结构，且形成一容置空间，该波纹管设置在该容置空间内，且该波纹管的两端分别固定在该左旋驱动件和该右旋驱动件上。

2.根据权利要求1所述的真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于，该连接件设置在该左旋驱动件以及该右旋驱动件的外侧。

3.根据权利要求1所述的真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于该连接件设置在该左旋驱动件以及该右旋驱动件的内侧。

4.根据权利要求2所述的真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于，该左旋驱动件外壁含有一左旋外螺纹，该右旋驱动件外壁含有一右旋外螺纹，在该连接件一端内侧含有一左旋内螺纹，另一端内侧含有一右旋内螺纹。

5.根据权利要求2所述的真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于，该左旋驱动件外壁含有一左旋外凹槽，该右旋驱动件外壁含有一右旋外凹槽，在该连接件一端内侧含有一左旋内凹槽，另一端内侧含有一右旋内凹槽，该左旋外凹槽与该左旋内凹槽之间正好可以形成一通道，在该通道中配有多个滚珠；该右旋外凹槽与该右旋内凹槽之间正好可以形成一通道，在该通道中配有多个滚珠。

6.根据权利要求1所述的真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于，该波纹管与该左旋驱动件通过多个固定点固定，该多个固定点均匀的分布在一个圆周上；该波纹管与该右旋驱动件通过多个固定点固定，这些固定点均匀的分布在一个圆周上。

7.根据权利要求1所述的真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于，该左旋驱动件与该右旋驱动件两者以相同的步调相对连接件旋转。

8.根据权利要求2所述的真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于，该左旋内螺纹、该右旋内螺纹、该左旋外螺纹以及该右旋外螺纹均采用精密螺纹副。

9.根据权利要求1所述的真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于，在该左旋驱动件和右旋驱动件的外壁上设有一推进刻度；该连接件外侧圆周设有n等分刻度，n为大于1的整数。

10.根据权利要求1所述的真空系统兼容的同轴精密线性推进装置，其特征在于，该左旋驱动件及该右旋驱动件上设有法兰盘，且该法兰盘通过多个螺钉固定在该左旋驱动件和该右旋驱动件上。