[发明专利]流化床反应器及其用于制备粒状多晶硅和三氯氢硅的方法在审
申请号: | 201310051129.0 | 申请日: | 2013-02-16 |
公开(公告)号: | CN103990422A | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
发明(设计)人: | 约翰·德西尔诺 | 申请(专利权)人: | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
主分类号: | B01J8/24 | 分类号: | B01J8/24;C01B33/03;C01B33/107 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种流化床反应器及其用于制备粒状多晶硅和三氯氢硅的方法,在流化床反应器中通过正负电极且电流流经硅颗粒,利用电阻加热方式对反应器内的硅颗粒进行供热。采用本发明的流化床反应器,能够提高所得产品的纯度,降低成本,允许大直径反应器的工业化应用,提高产量,同时,能够减少反应器内壁温度,继而减少内壁的硅沉积。 | ||
搜索关键词: | 流化床 反应器 及其 用于 制备 粒状 多晶 三氯氢硅 方法 | ||
【主权项】:
一种流化床反应器,包括壳体,设置于所述壳体上部的籽晶进料口和反应尾气出口、下部的原料气进口和产品出口、加热装置,所述壳体构成反应器的内部空间,其特征在于所述加热装置由至少一个位于所述反应器内部的电极正极,和由所述反应器壳体构成的电极负极构成;或所述加热装置由至少一个位于所述反应器内部的电极正极,和至少一个位于所述反应器内部的电极负极构成。
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