[发明专利]靶材组件及其制备方法在审
| 申请号： | 201310049972.5 | 申请日： | 2013-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN103981495A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 潘杰;姚力军;王学泽;高建 | 申请（专利权）人： | 余姚康富特电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种靶材组件及其制备方法。所述靶材组件包括背板，所述背板包括背面和与背面相对的固定面，在所述背板内设有水路，所述靶材组件还包括：设置于所述背板背面的凹槽，所述凹槽与水路贯通，且凹槽截面宽度大于水路截面宽度，使凹槽截面与水路截面呈阶梯状；嵌于凹槽内的盖板，所述盖板置于阶梯部，并覆盖于所述水路上方。本发明中靶材组件，凹槽截面与水路截面呈阶梯状，且嵌于所述凹槽内的盖板至于所述阶梯部，所述阶梯部给所述盖板提供足够的支撑力，从而有效加强盖板覆盖于所述凹槽上方的固定强度。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材组件，包括：背板，所述背板包括背面和与背面相对的固定面；在所述背板内设有水路，其特征在于，还包括：设置于所述背板背面的凹槽，所述凹槽与水路贯通，且凹槽截面宽度大于水路截面宽度，使凹槽截面与水路截面呈阶梯状；嵌于凹槽内的盖板，所述盖板置于阶梯部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于余姚康富特电子材料有限公司，未经余姚康富特电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310049972.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种荧光碳点的制备方法
- 下一篇：具有转向机械手的齿条钢坯铣床
- 同类专利
- 专利分类
