[发明专利]部件内置基板的检查方法

摘要

本发明提供一种部件内置基板的检查方法，其可有效地消除检查夹具内的布线之间的寄生电容等的影响、以及部件内置基板内的布线之间的静电电容的影响，并可对部件内置基板内的检查对象部进行准确的检查。例如在将电容器（C1）设为关注检查对象部的情况下，与被设为第一选择检查点的检查点（D1、D2）以及被设为第一电位调整检查点的检查点（D5～D7）接触的探针（P1、P2、P5～P7）与电源部的第一输出端子电连接。另外，与被设为第二选择检查点（D4）接触的探针（P4）与电源部（4）的第二输出端子电连接。另外，与被设为非关联检查点（D3、D8～D10）接触的探针（P3、P8～P10）与接地电位电连接。

主权项

一种部件内置基板的检查方法，针对由设置在部件内置基板内的电子部件或包含所述电子部件的电路构成的多个检查对象部，经由与设置在所述部件内置基板表面上的多个检查点接触的探针来检测所述检查对象部的电特性，所述部件内置基板内置具有阻抗的电子部件，所述部件内置基板的检查方法的特征在于，具备以下步骤：从所述部件内置基板内的所述多个检查对象部中按顺序选择任一个检查对象部作为关注检查对象部的步骤；将所述多个检查点中的与所述关注检查对象部属于同一网络的检查点设为关联检查点、将此外的检查点设为非关联检查点的步骤；将所述关联检查点中的、不经由所述电子部件而与插入有所述关注检查对象部的布线部分的两侧中的任一侧相连接的关联检查点设为第一选择检查点，将不经由所述电子部件而与另一侧相连接的关联检查点设为第二选择检查点，将剩余检查点中的、经由所述关注检查对象部之外的所述电子部件而与所述第一选择检查点相连接的关联检查点设为第一电位调整检查点，将经由所述关注检查对象部之外的所述电子部件而与所述第二选择检查点相连接的关联检查点设为第二电位调整检查点，使与所述关联检查点中的所述第一选择检查点以及所述第一电位调整检查点接触的所述探针与输出检查电力的电源部的、成对的第一和第二输出端子中的第一输出端子电连接，使与所述第二选择检查点以及所述第二电位调整检查点接触的所述探针与所述电源部的所述第二输出端子电连接，并使与所述非关联检查点接触的探针与规定的基准电位电连接的步骤；经由与所述第一选择检查点以及所述第二选择检查点接触的所述探针，使所述电源部对所述关注检查对象部供给所述检查电力，并由规定的电特性检测部检测所述关注检测对象部的电特性的步骤；以及根据所述电特性检测部的检测结果，判断所述关注检查对象部是否良好的步骤。