[发明专利]振动器件和振荡器无效
申请号: | 201310048796.3 | 申请日: | 2013-02-07 |
公开(公告)号: | CN103248331A | 公开(公告)日: | 2013-08-14 |
发明(设计)人: | 吉田宜史 | 申请(专利权)人: | 精工电子有限公司 |
主分类号: | H03H3/04 | 分类号: | H03H3/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 何欣亭;王忠忠 |
地址: | 日本千叶*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供相对于周围温度的变化而频率特性劣化较少的小型振动器件。本发明的振动器件具备基体、接合于基体而构成腔的盖体以及容纳于腔的振动片。振动片具备厚度较厚的中央部和厚度较薄的外周部,中央部具备用于激发振动的激振电极,外周部具备与激振电极电连接且厚度比激振电极厚的第一和第二端子电极。在基体的表面具备第一和第二连接部,第一和第二连接部与第一和第二端子电极连接并以悬臂状支撑振动片。由此,实现以非常小的接合面积支撑振动片且相对于温度变化的频率特性的劣化较少的小型的振动器件。 | ||
搜索关键词: | 振动 器件 振荡器 | ||
【主权项】:
一种振动器件,具备基体、接合于所述基体而构成腔的盖体以及容纳于所述腔的振动片,所述振动片具备厚度较厚的中央部和厚度比所述中央部薄的外周部,所述中央部具备用于激发振动的激振电极,所述外周部具备与所述激振电极电连接且厚度比所述激振电极厚的端子电极,所述基体在所述腔侧的表面具备连接部和与所述连接部电连接的布线,所述连接部与所述端子电极连接并以悬臂状支撑所述振动片。
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