[发明专利]振动器件和振荡器

说明书

技术领域

本发明涉及将振动片安装在构成于2个基板之间的腔的振动器件和振荡器。

背景技术

使用石英（水晶）振子的振动器件得到普及。使用石英振子的振动器件小型且相对于温度变化的频率特性稳定，作为便携电话等便携信息终端、其他许多电子器件的定时源而广泛得到利用。近几年，要求更进一步的小型化、振动周期的稳定性。因此，实行将石英振子进一步小型化、通过表面安装法而安装于基板。

图3是专利文献1所记载的石英振子（振动器件）的说明图（专利文献1的图1），图3（a）是石英振子的剖面图，（b）是除去了金属罩盖53的石英振子的平面图。石英振子由形成有凹部的容器本体51、安装于凹部的底面的石英片52以及设置于凹部的上端并将凹部密闭的金属罩盖53构成。石英片52利用导电性粘接材料58以悬臂状支撑于容器本体51。

石英片52具有扁平的长方形，在其表面具备用于使石英片52激振的激振电极56、与激振电极56电连接的第1引出部57a以及与第1引出部57a电连接并设置于石英片52的角部的第2引出部57b。激振电极56以夹着石英片52的方式形成于石英片52的两面。第2引出部57b形成于石英片52的短边的两个角部，一个角部的第2引出部57b与形成于一个表面的激振电极56电连接，另一个角部的第2引出部57b与形成于另一个表面的激振电极56电连接。第2引出部57b经由导电性粘接材料58而与石英端子54电连接，进一步与外部端子55电连接。所以，石英片52短边的两个角部由导电性粘接剂58固定于容器本体51，以悬臂状被支撑。

专利文献1：日本特开2008－109538号公报。

在专利文献1的安装方法中，石英片52的短边的2处由导电性粘接剂58固定于容器本体51。在石英片52与容器本体51之间存在热膨胀系数的差的情况下，如果周围温度变化，则应力被施加至该2处固定部之间。因此，相对于温度变化，频率特性劣化。尤其是，在石英片52是进行厚度滑动振动的AT切割石英片的情况下，如果利用导电性粘接剂58来固定石英片52的短边的2处，则相对于周围温度的变化，频率特性的劣化变得显著。

另外，这种振动器件为了使空气阻力减少，将容器内保持为真空。然而，如果像专利文献1那样使用导电性粘接材料58，则从该导电性粘接剂58产生气体，所产生的气体导致石英片52的频率特性变动。将导电性粘接剂58加热熔融而将石英片52安装于容器本体51，熔融时导电性粘接剂58扩散，变得难以将石英片52与容器本体51之间的接合面积控制得较小。而且，接合面积扩大，由此，石英片52的振动特性劣化。因此，石英片52的小型化存在界限。此外，由于导电性粘接剂58到固化为止需要时间，因而在将石英片52粘接于容器本体51的期间，石英片52有时候由于自重而倾斜，与封装件接触而阻碍振动。出于这样的理由，为了得到高精度的频率特性，不能采用使用导电性粘接剂58将石英片52安装于容器本体51的方法。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而做出的，其目的在于，抑制相对于周围温度的变化的频率特性的劣化，提供小型且高精度的振动器件。

本发明的振动器件，具备基体、接合于所述基体而构成腔的盖体以及容纳于所述腔的振动片，所述振动片具备厚度较厚的中央部和厚度比所述中央部薄的外周部，所述中央部具备用于激发振动的激振电极，所述外周部具备与所述激振电极电连接且厚度比所述激振电极厚的端子电极，所述基体在所述腔侧的表面具备连接部和与所述连接部电连接的布线，所述连接部与所述端子电极连接并以悬臂状支撑所述振动片。

另外，所述端子电极，厚度为2000?以上、4000?以下。

另外，所述振动片是AT切割石英振动片。

另外，所述连接部由金属凸点构成。

本发明的振荡器，具备：上述任一个所记载的振动器件和将驱动信号供给至所述振动器件的驱动电路。

本发明的振动器件，具备基体、接合于基体而构成腔的盖体以及容纳于腔的振动片，振动片具备厚度较厚的中央部和厚度比中央部薄的外周部，中央部具备用于激发振动的激振电极，外周部具备与激振电极电连接且厚度比激振电极厚的端子电极，基体在腔侧的表面具备连接部和与连接部电连接的布线，连接部与端子电极连接并以悬臂状支撑振动片。由此，即使周围温度变化，频率特性的劣化也较少，能够提供小型且高精度的振动器件。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的振动器件的说明图；

图2是本发明的第二实施方式所涉及的振荡器的俯视示意图；