[发明专利]一种图像检测自动定位晶圆位置的方法

摘要

本发明涉及一种图像检测自动定位晶圆位置的方法，晶圆固定于全自动晶圆划片机的数控系统划片运动平台，晶圆的晶格形状规则，采用Hough变换检测晶圆图像上芯片引脚的特征直线边缘或圆特征来确定晶圆的位置。本发明通过采用Hough变换检测晶圆图像上芯片引脚的特征直线边缘或圆特征来确定晶圆的位置，能精确定位晶圆位置和切割道，可靠性高，促进了晶圆划片技术自动化智能化。通过本发明进行的晶圆定位，其反应速度快，准确率高，有效精度控制在2μ左右，有效的缩短了晶圆的定位时间，提高了晶圆的加工效率。

主权项

一种图像检测自动定位晶圆位置的方法，其特征在于：所述的晶圆固定于全自动晶圆划片机的数控系统划片运动平台，所述的晶圆的晶格形状规则，采用Hough变换检测晶圆图像上芯片引脚的特征直线边缘或圆特征来确定晶圆的位置，该方法包括以下步骤： 1）调整数控系统划片运动平台，使晶圆处于显微摄相机的拍摄区域，移动圆检，通过Hough变换测得到晶圆的圆心，并以此圆心作中心点或者在晶圆上标示出中心点，确定中心点在图像坐标系中的位置p(u0, v0)；2）使用显微摄相机摄取晶圆信息，进行图像处理，经边缘检测并去除噪声和干扰点，得晶圆图像的边缘信息，在边缘检测的基础上，用Hough变换进行特征直线检测，所述的特征直线是晶圆上刻蚀的切割线，由特征直线的斜率ki和中心点到特征直线的距离di，检测离中心点最近的特征直线，得所需的在同一特征直线上的芯片引脚的特征线段；如所检测到的特征线段为一条，则以特征线段与u轴形成的夹角旋转晶圆；如检测到的特征线段为多条，则以多条特征线段的中点与图像坐标系的原点连线，与u轴形成的夹角旋转晶圆；旋转之后再次运用Hough变换检测特征直线，判断特征直线的夹角是否为零度，当检测出的特征直线夹角为0°，即此时图像中的特征线段与图像坐标系u轴平行，记录特征线段的坐标及中点坐标；3）以p点坐标和旋转后所检测的特征线段的中点坐标在图像坐标系内划分晶圆的切割单元，并把相关位置信息转换为晶圆划片机坐标系下的位置信息，保存供数控系统加工调用。