[发明专利]一种片式寛域汽车氧传感器芯片的制作方法

摘要

本发明涉及一种片式寛域汽车氧传感器芯片的制作方法。包括流延和切割制备形成对应于每一层的流延基片；根据所述传感器芯片的结构，对各层流延基片进行对应的丝网印刷，形成对应层上的各电极及各功能层；连接电极引线与引脚及内电极；用有机流延片填充腔体；将各层流延基片叠合后进行低温等静压压制，形成芯片坯材，切割坯材形成单个芯片生坯；烧结单个芯片生坯，制得传感器芯片，烧结中对应功能层排胶后形成空腔，与相关构成空气通道。优点是大大提高了传感器强度，同时避免了叠压对加热电极的影响。

主权项

一种片式寛域汽车氧传感器芯片的制作方法，其特征在于:包括采用氧化锆陶瓷粉制备的浆料进行流延，形成流延基片；对所述流延基片进行相关切割和孔的成形加工，形成对应于每一层的流延基片； 根据所述传感器芯片的结构，对各层流延基片进行对应的丝网印刷，形成对应层上的各电极和各能层； 用有机填充料填充对应层流延基片上由所述孔形成的腔体部分；使得叠合没有空隙以便等静压；将各层流延基片按所述传感器芯片的结构进行叠合，再进行低温等静压压制，形成所述传感器的芯片坯材，切割坯材形成单个芯片生坯；采用端面侧涂连通不同层片上或同一层片上分别在上下两面的电极线路，烧结制得传感器芯片，烧结中对应含有有机浆料的功能层排胶，形成相应空腔，与相关功能层构成空气通道。