[发明专利]一种等离子处理装置及其处理方法有效
| 申请号： | 201310017593.8 | 申请日： | 2013-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN103943447B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 杨平;黄智林;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/244 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种等离子反应腔，包括一个射频电源输出射频功率到所述等离子反应腔；一个等离子状态检测装置检测所述等离子反应腔内光学信号；一个脉冲信号发生器产生脉冲信号并输出到所述射频电源；其特征在于，所述等离子状态检测装置接收所述脉冲信号并处理所述检测到的反应腔内的光学信号。本发明能够在不同脉冲时间段内，根据不同脉冲阶段的功率特性对检测到的等离子光学信号作出及时的调整，最终获得稳定、可靠的光学信号及时反应等离子反应腔内的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 处理 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种等离子处理装置，其特征在于：包括：等离子反应腔；射频电源，与所述等离子反应腔相连接，用以输出射频功率到所述等离子反应腔并产生等离子体；等离子状态检测装置，与所述等离子反应腔相连接，用以检测所述等离子反应腔内等离子体的光学信号，所述等离子状态检测装置还包括一信号采集快门；脉冲信号发生器，与所述射频电源和所述信号采集快门相连接，所述脉冲信号发生器产生脉冲信号，并同步输出到所述射频电源和所述信号采集快门，以同步控制所述等离子反应腔内等离子体的产生和等离子状态检测；所述脉冲信号使得所述射频电源对所述等离子反应腔的输出功率在高功率状态与低功率状态之间切换，在其中的一个功率状态，所述信号采集快门接收等离子体的光学信号，在另一个功率状态，所述信号采集快门屏蔽等离子体的光学信号。
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