[发明专利]薄膜晶体管、其制造方法、显示单元和电子装置有效
申请号: | 201310011841.8 | 申请日: | 2013-01-11 |
公开(公告)号: | CN103219388A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 大岛宜浩;藤森隆成;广升泰信;寺井康浩 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L23/552 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
提供了抑制光影响并具有稳定特征的薄膜晶体管、其制造方法、显示单元及电子装置。所述薄膜晶体管包括:栅电极;具有面向所述栅电极的沟道区的氧化物半导体膜;以及至少覆盖所述沟道区并含有吸收光的铝低价氧化物(AlXOY,其中0 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 制造 方法 显示 单元 电子 装置 | ||
【主权项】:
一种薄膜晶体管,包括:栅电极;氧化物半导体膜,具有面向所述栅电极的沟道区;以及保护膜,至少覆盖所述沟道区并含有吸收光的铝低价氧化物AlXOY,其中0
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