[发明专利]钼铌合金靶材的生产工艺有效
| 申请号： | 201310010396.3 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN103060762B | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 吴文斌 | 申请（专利权）人： | 江西科泰新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F9/04;C22C1/04;B22F3/14 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所36100 | 代理人： | 李卫东 |
| 地址： | 330800*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种钼铌合金靶材的生产工艺，其特征在于把高纯的钼粉和铌粉在混料机内混合均匀，铌粉和钼粉按照18‑9的重量比置于混料机中，在1400～1900℃高温真空煅烧炉内煅烧成钼铌合金，把烧结块用油压机破碎成小块后在玛瑙球磨机中，在氦气保护下研磨。磨球配比为1/3，以公转600的微粉，在真空加压烧结装置中压制成型，压力12～25兆帕，在1450～2020℃压30～90分钟，得到靶坯。在磨床上修整得到成品靶材。本发明的方法工艺流程简单，易于实现工业化生产。无污染，制备过程不会产生任何废料、废酸等污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 生产工艺 | ||
【主权项】：
一种钼铌合金靶材的生产工艺，其特征在于：把高纯的钼粉和铌粉在混料机内混合均匀，铌粉和钼粉按照1：8‑9的重量比置于混料机中，在1400～1900℃高温真空煅烧炉内煅烧成钼铌合金，把烧结块用油压机破碎成小块后在玛瑙球磨机中，在氦气保护下研磨，磨球配比为1/3，以公转每分钟600转所得的微粉，在真空加压烧结装置中压制成型，压力12～25兆帕，在1450～2020℃压30～90分钟，得到靶坯，在磨床上修整得到成品靶材。
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