[发明专利]被加工物的加工方法及分割方法

摘要

本发明涉及一种被加工物的加工方法及分割方法。本发明提供一种在分割被加工物时，与以往相比能够至被加工物内部的较深位置产生劈开/裂开的加工方法。本发明的加工方法通过使多束激光的各者的焦点位置为被加工物内部的不同的深度位置后同时进行照射步骤与扫描步骤，而在被加工物的不同深度位置上产生沿着加工预定线的方向的被加工物的劈开或裂开，由此在被加工物上形成用于分割的起点，其中该照射步骤是以各个单位脉冲光的被照射面上的被照射位置在空间上且时间上实质成为相同的方式，从一个照射用透镜重叠地照射脉冲宽度为psec级的多束脉冲激光，该扫描步骤是在被照射位置在照射面上离散的条件下沿加工预定线扫描多束脉冲激光。

主权项

一种被加工物的加工方法，其是用以在被加工物上形成分割起点的加工方法，该加工方法的特征在于：通过使多束激光的各者的焦点位置为被加工物内部的不同的深度位置后同时进行照射步骤与扫描步骤，而在所述被加工物的不同深度位置上产生沿着加工预定线的方向的所述被加工物的劈开或裂开，由此在所述被加工物上形成用于分割的起点，且所述照射步骤是以使各个单位脉冲光的所述被照射面上的被照射位置在空间上且时间上成为相同的方式，从与所述被加工物对向配置的一个照射用透镜重叠地照射作为脉冲宽度为psec级的超短脉冲光的所述多束脉冲激光，所述扫描步骤是在所述被照射位置在所述照射面上离散的条件下沿所述加工预定线扫描所述多束脉冲激光。