[发明专利]基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法有效
| 申请号： | 201310008735.4 | 申请日： | 2013-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN103030092A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 张冬仙;史斌;章海军;伊福廷;王波 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法。利用LIGA技术加工出具有高深宽比的金属微驱动器，利用脉冲激光照射微驱动器使微驱动器迅速升温，微驱动器局部微结构内的液体受热发生气化相变，气泡将液体向外排产生反作用力驱动微驱动器转动。通过调整激光的功率和占空比来控制局部微结构中的气泡产生速率和大小变化，从而产生脉冲式的驱动力实现微驱动器的步进运动。本发明原理巧妙，能够通过简单结构将光能转换为热能再转换为动能，实现远程非接触式控制，可望在MOEMS器件等领域获得广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 相变 作用力 金属 驱动器 驱动 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种基于相变作用力的金属微驱动器, 其特征在于，金属微驱动器（6）包括微驱动器主体（1）、金属毛细棒（2）、转动轴（3）、充液腔（4）、底座（5）；微驱动器主体（1）侧面均匀开有6个充液腔（4），充液腔（4）中心线偏离微驱动器中心距离为L，每个充液腔（4）内有2根金属毛细棒（2）连接在微驱动器主体（1）上；微驱动器主体（1）通过下方的转动轴（3）安装在底座（5）上。
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