[发明专利]空间光调制器的驱动方法、曝光用图案的生成方法、以及曝光方法和装置

摘要

在空间光调制器的驱动方法中，在Y方向上邻接配置并沿X方向延伸的第一边界区域以及第二边界区域中，将在第一边界区域内在X方向上以不被投影光学系统析像的第一间距排列的镜元件设定为相位0，将其他的镜元件设定为相位π，将在第二边界区域内在X方向上以不被投影光学系统析像的第二间距排列的镜元件设定为相位π，将其他的镜元件设定为相位0。使用空间光调制器向物体投影图案时，能够以比空间光调制器的各光学元件的像的宽度更精细的位置精度或者形状精度形成图案。

主权项

1.一种空间光调制器的驱动方法，所述空间光调制器具有能够分别将光向投影光学系统引导的多个光学元件的阵列，所述驱动方法的特征在于，在第一方向上邻接配置并且分别在与所述第一方向交叉的第二方向延伸的第一区域以及第二区域中，将在所述第一区域内在所述第二方向上以不被所述投影光学系统析像的第一间距排列的多个所述光学元件设定为第一状态，将所述第一区域内的其他所述光学元件设定为与所述第一状态不同的第二状态，将在所述第二区域内在所述第二方向上以不被所述投影光学系统析像的第二间距排列的多个所述光学元件设定为所述第二状态，将所述第二区域内的其他所述光学元件设定为所述第一状态。