[发明专利]功能性膜的制造方法及功能性膜有效
| 申请号： | 201280069640.7 | 申请日： | 2012-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN104114361A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 岩濑英二郎 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | B32B9/00 | 分类号： | B32B9/00;C23C16/42;C23C16/50;H01L51/50;H05B33/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张玉玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明使用涂料而在基板上形成不含卤素的有机层(12)，并通过等离子体CVD而在有机层(12)上形成氮化硅层(14)。通过该构成，而提供一种可稳定地制造具有高阻气性的阻气膜等高性能的功能性膜的功能性膜的制造方法、及功能性膜。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种功能性膜的制造方法，其特征在于，使用涂料，在基板上形成不含卤素的有机层，通过等离子体CVD，在该有机层上形成氮化硅层。
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