[发明专利]放射线靶及其生产方法有效
申请号: | 201280067869.7 | 申请日: | 2012-01-23 |
公开(公告)号: | CN104067367A | 公开(公告)日: | 2014-09-24 |
发明(设计)人: | 小仓孝夫;伊藤靖浩 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01J35/08 | 分类号: | H01J35/08;C22C14/00;H01J35/18 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 康建忠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供了一种放射线发射靶和放射线产生设备,其通过保持层状放射线靶的稳定粘合降低了由于操作和温度历史导致的输出变化,并且实现了稳定放射线发射特性。放射线靶包括支撑基板、当被电子束照射时发射放射线的靶层以及位于支撑基板和靶层之间的中间层。中间层具有1μm或更小的厚度,并且包含钛作为主要成分。钛的至少一部分在400℃或更低显现β相。 | ||
搜索关键词: | 放射线 及其 生产 方法 | ||
【主权项】:
一种放射线靶,包括支撑基板、当被电子束照射时发射放射线的靶层以及位于支撑基板和靶层之间的中间层,其中,中间层具有1μm或更小的厚度,并且包含钛作为主要成分,并且其中,钛的至少一部分在400℃或更低显现β相。
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