[发明专利]多晶硅锭、其制造方法及其用途有效
| 申请号： | 201280063468.4 | 申请日： | 2012-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN104010968A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 大石隆一;上野和也;梶本公彦 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02;C30B29/06;H01L31/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 岳雪兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种多晶硅锭制造方法，该多晶硅锭制造方法是使坩埚中的熔融硅从所述坩埚的底部向上方单向凝固而制造多晶硅锭的方法，将硅温度变为硅的熔点时的坩埚下表面中央附近的检测温度设为Tm，在所述检测温度从(Tm－20)℃降低至(Tm－60)℃的期间内，在存在温度以1～10℃/小时的温度变化率降低的时间的条件下，使所述熔融硅单向凝固而获得多晶硅锭。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制造 方法 及其 用途 | ||
【主权项】：
一种多晶硅锭制造方法，其特征在于，是使坩埚中的熔融硅从所述坩埚的底部向上方单向凝固而制造多晶硅锭的方法，将硅温度变为硅的熔点时的坩埚下表面中央附近的检测温度设为Tm，在所述检测温度从(Tm－20)℃降低至(Tm－60)℃的期间内，在存在温度以1～10℃/小时的温度变化率降低的时间的条件下，使所述熔融硅单向凝固而获得多晶硅锭。
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