[发明专利]检查用照明装置以及检查用照明方法在审
| 申请号： | 201280060038.7 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN104040322A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 增村茂树 | 申请（专利权）人： | CCS株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了提供一种能够根据检查光表现出缺陷和正常部分的亮度差等的差异的检查用照明装置以及检查用照明方法，所述检查用照明装置具有：射出检查光的面光源(1)；透镜(2)，所述透镜(2)位于从所述面光源(1)射出的检查光的光轴(LX)上，被设置在检查对象(W)和所述面光源(1)之间；第一光阑(31)，所述第一光阑(31)被设置在所述面光源(1)以及所述透镜(2)之间，或者被设置在所述透镜(1)以及所述检查对象(W)之间，所述面光源(1)以及所述透镜(2)的相对于所述检查对象(W)的位置被设置为所述面光源(1)成像的成像面(IM)位于所述检查对象(W)的附近，所述第一光阑(1)的相对于所述透镜(2)的位置被设定，从而使以入射至所述成像面(IM)的外周部的检查光规定的照射立体角的中心轴变得相对于所述光轴(LX)平行，或者，自光轴(LX)偏离且以规定量倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 照明 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种检查用照明装置，其特征在于，具有：射出检查光的面光源；透镜，所述透镜在从所述面光源射出的检查光的光轴上，被设置在检查对象和所述面光源之间；以及第一光阑，所述第一光阑被设置在所述面光源以及所述透镜之间，或者被设置在所述透镜以及所述检查对象之间，所述面光源以及所述透镜的相对于所述检查对象的位置被设定为所述面光源成像的成像面位于所述检查对象的附近，所述第一光阑的相对于所述透镜的位置被设定为，使由入射至所述成像面的外周部的检查光规定的照射立体角的中心轴相对于所述光轴平行，或者，自光轴偏离且仅倾斜规定量。
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