[发明专利]光调制控制方法、控制程序、控制装置以及激光照射装置

摘要

在使用了空间光调制器的激光的聚光照射的控制中，取得激光的波长数、各个波长的值以及激光的入射条件(步骤S101)，设定聚光点数、以及各个聚光点上的聚光位置、波长、聚光强度(步骤S104)，对于各个聚光点，设定赋予激光的聚光控制图案(步骤S107)。然后，考虑聚光控制图案来设计呈现于空间光调制器的调制图案(S108)。另外，在调制图案的设计中，使用着眼于一个像素中的相位值的影响的设计法并且在评价聚光点上的聚光状态的时候使用加上了聚光控制图案的相反的相位图案的传播函数。由此，实现了能够适当地实现激光的聚光控制的光调制控制方法、程序、装置以及激光照射装置。

主权项

一种光调制控制方法，其特征在于：是使用输入激光并调制所述激光的相位从而输出相位调制后的激光的相位调制型的空间光调制器，由呈现于所述空间光调制器的调制图案，控制向被设定的聚光点的所述激光的聚光照射的光调制控制方法，具备：照射条件取得步骤，作为所述激光的照射条件，取得输入到所述空间光调制器的所述激光的波长的个数x_t、x_t个波长λ_x以及向所述空间光调制器的各个波长的所述激光的入射条件，其中，x_t为1以上的整数；聚光条件设定步骤，作为所述激光的聚光条件，设定聚光照射来自所述空间光调制器的所述激光的所述聚光点的个数s_t、以及有关s_t个聚光点s的各个的聚光位置、聚光的所述激光的波长λ_x、聚光强度，其中，s_t为1以上的整数；控制图案设定步骤，对于所述s_t个聚光点s的各个，作为相对于波长λ_x的所述激光赋予的相位图案，设定控制其聚光状态的聚光控制图案；调制图案设计步骤，考虑由所述控制图案设定步骤设定的所述聚光控制图案来设计呈现于所述空间光调制器的所述调制图案，所述调制图案设计步骤中，设想在所述空间光调制器中被二维排列的多个像素，着眼于呈现于所述多个像素的所述调制图案的一个像素中的相位值的变更给予所述聚光点上的所述激光的聚光状态的影响，以其聚光状态接近于所希望的状态的方式变更所述相位值，通过对于所述调制图案的所有像素进行这样的相位值的变更操作从而设计所述调制图案，并且在评价所述聚光点上的所述聚光状态的时候，对于所述空间光调制器的所述调制图案中的从像素j到所述聚光点s的波长λ_x的光的传播，使用将由所述控制图案设定步骤设定的所述聚光控制图案φ_js‑pat,x的相反的相位图案加到波动传播函数φ_js,x的传播函数φ_js,x’φ_js,x’＝φ_js,x‑φ_js‑pat,x。