[发明专利]用于生成样品的多维图像的双图像方法和系统无效
| 申请号： | 201280052321.5 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN103946889A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | G.卡皮奥;T.卡瓦诺;B.纽尔;M.苏里尔 | 申请（专利权）人： | 因格瑞恩股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T5/50 | 分类号： | G06T5/50;G06T7/00;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 黄剑飞 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明部分涉及一种用于生成样品的多维图像的方法，其将不同图像捕获模态与数据分析能力结合起来，用于识别和集成通过每个相应的模态捕获的更高精度图像特征，以便产生具有更高精度和一致性的被调和(reconciled)图像数据。包括一种能够被用于执行该方法的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生成 样品 多维 图像 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于生成样品的多维图像的方法，包括：采用第一图像捕获模态捕获所述样品的表面区域的第一二维基板图像，其中至少一种材料在所述表面区域处的位置被捕获；采用不同于第一图像捕获模态的第二图像捕获模态捕获所述样品的表面区域的第二二维基板图像，其中与所述第一图像捕获模态相比，针对至少一种材料在所述表面区域处的位置，所述第二图像捕获模态提供了更高的精度；基于所述第二二维基板图像，空间对齐所述第一二维基板图像；基于在所述第二二维基板图像中的至少一种材料在所述表面区域处的位置，生成第一校正的二维基板图像。
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