[发明专利]用于生成样品的多维图像的双图像方法和系统

权利要求书

1.一种用于生成样品的多维图像的方法，包括：

采用第一图像捕获模态捕获所述样品的表面区域的第一二维基板图像，其中至少一种材料在所述表面区域处的位置被捕获；

采用不同于第一图像捕获模态的第二图像捕获模态捕获所述样品的表面区域的第二二维基板图像，其中与所述第一图像捕获模态相比，针对至少一种材料在所述表面区域处的位置，所述第二图像捕获模态提供了更高的精度；

基于所述第二二维基板图像，空间对齐所述第一二维基板图像；

基于在所述第二二维基板图像中的至少一种材料在所述表面区域处的位置，生成第一校正的二维基板图像。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一校正的二维基板图像包括由与采用第一模态被测量时相比就识别该第一材料而言具有更高精度的第二模态确定的第一材料含量和由与第二模态相比就识别第一二维图像中的孔隙度而言具有更高精度的第一模态确定的样品的孔隙度含量。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述生成包括：

识别与所述至少一种材料在所述第二二维基板图像中的位置对应的所述至少一种材料在所述第一二维基板图像中的位置；以及

校正与所述至少一种材料在所述第二二维基板图像中的位置对应的所述至少一种材料在所述第一二维基板图像中的位置，以便生成所述第一校正的二维基板图像。

4.根据权利要求3所述的方法，还包括：

a)在捕获第一和第二二维基板图像之后去除所述样品在所述表面区域的层，以便暴露所述样品的不同表面区域；

b)采用所述第一图像捕获模态捕获在所述不同表面区域处的第一二维基板图像；

c)采用所述第二图像捕获模态捕获在所述不同表面区域处的第二二维基板图像；

d)多次重复步骤a)、b)以及c)；

e)基于所述第二二维基板图像空间对齐所述第一二维基板图像；

f)对每个不同表面区域，识别与所述至少一种材料在所述第二二维基板图像中的位置对应的所述至少一种材料在所述第一二维基板图像中的位置；

g)对每个不同表面区域，校正与所述至少一种材料在所述第二二维基板图像中的位置对应的所述至少一种材料在所述第一二维基板图像中的位置，以便生成第二校正的二维基板图像；

h)采用所校正的二维基板图像生成三维基板体积。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述生成包括：基于通过与背散射电子基板图像比较而被校正的表面电子二维基板图像确定所述基板的孔隙度。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一图像捕获模态包括通过带电粒子束扫描所述样品的表面区域和通过检测由所述样品发射的二次(表面)电子来记录第一图像数据以及将所述第一图像数据存储为与所述第一二维基板图像对应的第一集合的图像数据，以及

其中所述第二图像捕获模态包括：

i)通过所述带电粒子束扫描所述样品的表面区域和通过检测由所述样品发射的背散射电子记录第二图像数据以及将所述第二图像数据存储为与所述第二二维基板图像对应的第二集合的图像数据，或者

ii)通过带电粒子束扫描所述样品的表面区域和通过采用能量色散谱仪检测由所述样品发射的x射线记录第二图像数据以及将所述第二图像数据存储为第二集合的图像数据。

7.一种创建三维体积的方法，包括：

捕获多个表面电子二维基板图像；

捕获多个背散射电子二维基板图像；

确定所述多个背散射电子基板的图像的对齐，用于生成三维体积；

使用所述多个背散射电子基板的图像的对齐，根据所述表面电子二维基板图像生成三维基板体积。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述捕获步骤采用包括表面电子检测器和背散射电子检测器的电子显微镜。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述电子显微镜是能够采用初级带电粒子束扫描基板的扫描电子显微镜(SEM)，其中所述基板发射可分开检测的表面电子和背散射电子。

10.根据权利要求7所述的方法，还包括：在捕获第一表面电子二维基板图像和第一背散射电子二维基板图像之后以及在捕获第二表面电子二维基板图像和第二背散射电子二维基板图像之前，去除所述基板的层。