[发明专利]等离子体发生器、用于等离子体发生器的旋转电极的制造方法、执行基板的等离子体处理的方法、以及采用等离子体形成具有混合结构的薄膜的方法

摘要

根据本发明实施例的等离子体发生器设置为通过防止等离子体到电弧的转变以近大气压的压力产生高密度和稳定的等离子体。该等离子体发生器包括用于设置基板的板状下电极；以及在板状下电极上的圆柱旋转电极，其中圆柱旋转电极包括导电主体和绝缘屏蔽层，导电主体连接到电源且包括在导电主体的外圆周表面上的多个毛细管单元；绝缘屏蔽层由绝缘材料或电介质材料制成，暴露多个毛细管单元的下表面，并且屏蔽其它部分。

主权项

一种等离子体发生器，包括：板状下电极，用于设置基板；以及圆柱旋转电极，位于该板状下电极之上，其中该圆柱旋转电极包括：导电主体，连接到电源且包括在该导电主体的外圆周表面上的多个毛细管单元；以及绝缘屏蔽层，设置在该主体的该外圆周表面上且暴露该多个毛细管单元的下表面。