[发明专利]在多电极微波等离子体激发源中的电极冷却系统有效
| 申请号： | 201280049861.8 | 申请日： | 2012-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN103891418A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 安杰·冉斯扎;克日什托夫·扬可夫斯基;爱德华·若斯喀 | 申请（专利权）人： | 应用光学研究所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙) 11248 | 代理人： | 张小娟 |
| 地址： | 波兰*** | 国省代码： | 波兰;PL |
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| 摘要： | 三个相同的电极(7)相对于中心管的轴线对称地布置，和电极冷却系统。每个电极的长度为1/4L，L是微波长度。每个电极(7)具有一个用于冷却流动的空心室，与金属管(1,2)连接。管端部(D,F)与壳体(10)短接。每个管(1,2)的长度是1/4L。这些管(1,2)与所述壳体(10)隔离。在另一种配置中，每个电极(7')的长度为3/4L。用于冷却流动的管嵌入到电极空心腔室，入口管(12)内置于出口管。管连接器(3,4)位于金属壳体(10')的外部。从供电连接到电极尖端和从微波连接到电极尖端的距离分别是1/2L和1/4L。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 微波 等离子体 激发 中的 冷却系统 | ||
【主权项】：
一种多电极微波等离子体激发源中的电极冷却系统，包括电极冷却剂供给和移除系统，同时激发源包括相对于中心管的轴线对称地布置的至少三个相同的电极，所述中心管供给一个分析样品，并且电极被安装在一个电绝缘的金属壳体中，使得电极的顶部布置在中心管的出口，并且其端部在供电点与微波连接短接，所述微波连接在电极的纵向轴线的延伸方向嵌入到壳体中，并且所述连接与微波功率源耦合，尤其是2.45GHz的频率，而每个电极从其顶部测量到供电点的长度为1/4L，其中L是由微波功率源产生的微波的长度，其特征在于：每个电极(7)有一个具用于冷却剂的空心的纵向流动室，与金属侧管(1,2)连接，供给和移除冷却剂的第一和第二金属侧管，同时外侧的管端部(D,F)与壳体(10)电气短接，每个侧管(1,2)在金属壳体(10)内的长度，从与电极(7)的连接测量到壳体(10)的外壁，是1/4L，此外，侧管(1,2)在整个长度上与所述壳体(10)隔离。
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