[发明专利]在多电极微波等离子体激发源中的电极冷却系统

权利要求书

1.一种多电极微波等离子体激发源中的电极冷却系统，包括电极冷却剂供给和移除系统，同时激发源包括相对于中心管的轴线对称地布置的至少三个相同的电极，所述中心管供给一个分析样品，并且电极被安装在一个电绝缘的金属壳体中，使得电极的顶部布置在中心管的出口，并且其端部在供电点与微波连接短接，所述微波连接在电极的纵向轴线的延伸方向嵌入到壳体中，并且所述连接与微波功率源耦合，尤其是2.45GHz的频率，而每个电极从其顶部测量到供电点的长度为1/4L，其中L是由微波功率源产生的微波的长度，其特征在于：每个电极(7)有一个具用于冷却剂的空心的纵向流动室，与金属侧管(1,2)连接，供给和移除冷却剂的第一和第二金属侧管，同时外侧的管端部(D,F)与壳体(10)电气短接，每个侧管(1,2)在金属壳体(10)内的长度，从与电极(7)的连接测量到壳体(10)的外壁，是1/4L，此外，侧管(1,2)在整个长度上与所述壳体(10)隔离。

2.根据权利要求1所述的冷却系统，其中，所述侧管(1,2)在壳体(10)外部与入口和出口管连接器(3,4)连接。

3.一种多电极微波等离子体激发源中的电极冷却系统，包括电极冷却剂供给和移除系统，同时激发源包括相对于中心管的轴线对称地布置的至少三个相同的电极，所述中心管供给一个分析样品，并且多个电极被安装在一个电绝缘的金属壳体中，使得电极的顶部放置在中心管的出口，并且他们的端部延伸到壳体圆周的外壁，此外电极在周围于供电点与微波连接短接，微波连接嵌入到壳体中，并且所述连接与微波功率源耦合，尤其是2.45GHz的频率，而每个电极从其顶部测量到其在壳体圆周的外壁的端部的长度为3/4L，其中L是由微波功率源产生的微波的长度，其特征在于：每个电极(7')具有一个用于冷却剂的空心的纵向流动腔室，带有嵌入的内管(12)，内管(12)与位于电极外侧的入口管连接器(3)连接，并且出口管连接器(4)连接到围绕内管(12)布置的在流动腔室中的内部通道，并且管连接器(3,4)位于金属壳体(10')的外部，而每个电极(7')的端部与壳体(10')短接，从供电点(B)到顶部(A)的距离为1/2L，并且从这个点到嵌入在壳体(10')的微波连接(6)的距离是1/4L。