[发明专利]分光传感器

摘要

分光传感器（1）具备：具有空腔层（21）以及经由空腔层（21）而相对的第1以及第2镜层（22,23）并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部（20）、被配置于第1镜层（22）侧并且使入射到干涉滤光部（20）的光透过的光透过基板（3）、被配置于第2镜层（23）侧并且检测透过了干涉滤光部（20）的光的光检测基板（4）。空腔层（21）具有：被第1以及第2镜层（22,23）夹持的滤光区域（24）、从滤光区域（24）取得规定的距离来包围滤光区域（24）的环状的包围区域（25）、连接滤光区域（24）的光检测基板（4）侧的端部（24e）和包围区域（25）的光检测基板（4）侧的端部（25e）的环状的连接区域（26）。

主权项

一种分光传感器，其特征在于：具备：干涉滤光部，具有空腔层以及经由所述空腔层而相对的第1以及第2镜层，对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过；光透过基板，被配置于所述第1镜层侧，使入射到所述干涉滤光部的光透过；光检测基板，被配置于所述第2镜层侧，检测透过了所述干涉滤光部的光，所述空腔层具有：被所述第1以及第2镜层夹持的滤光区域；在从所述光透过基板与所述光检测基板相对的方向看的情况下，从所述滤光区域取得规定的距离而包围所述滤光区域的环状的包围区域；连接所述滤光区域的所述光检测基板侧的端部和所述包围区域的所述光检测基板侧的端部的环状的连接区域。