[发明专利]分光传感器

权利要求书

1.一种分光传感器，其特征在于：

具备：

干涉滤光部，具有空腔层以及经由所述空腔层而相对的第1以及第2镜层，对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过；

光透过基板，被配置于所述第1镜层侧，使入射到所述干涉滤光部的光透过；

光检测基板，被配置于所述第2镜层侧，检测透过了所述干涉滤光部的光，

所述空腔层具有：

被所述第1以及第2镜层夹持的滤光区域；

在从所述光透过基板与所述光检测基板相对的方向看的情况下，从所述滤光区域取得规定的距离而包围所述滤光区域的环状的包围区域；

连接所述滤光区域的所述光检测基板侧的端部和所述包围区域的所述光检测基板侧的端部的环状的连接区域。

2.如权利要求1所述的分光传感器，其特征在于：

所述包围区域的所述光透过基板侧的端面与所述滤光区域中的所述第1镜层的形成面中最接近于所述光透过基板的部分为大致相同高度，或者比该部分更位于所述光透过基板侧。

3.如权利要求1或者2所述的分光传感器，其特征在于：

所述连接区域的所述光透过基板侧的端面与所述滤光区域中的所述第1镜层的形成面中最接近于所述光检测基板的部分为大致相同高度，或者比该部分更位于所述光检测基板侧。

4.如权利要求1～3中的任意一项所述的分光传感器，其特征在于：

进一步具备以与所述第1镜层相对的方式形成于所述光透过基板上并且使所述规定的波长范围的光透过的光学滤光层。