[发明专利]用于检查工件的方法和设备有效
| 申请号： | 201280044062.1 | 申请日： | 2012-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103827623A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 凯文·巴里·乔纳斯;利奥·克里斯托弗·萨默维尔 | 申请（专利权）人： | 瑞尼斯豪公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00;G01B21/04 |
| 代理公司： | 北京金思港知识产权代理有限公司 11349 | 代理人： | 邵毓琴 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 在测量设备上测量一系列名义相同的生产工件。为了针对温度变化进行校正，所述工件中的一个工件形成标准制品，其度量例如通过外部校准是已知的。所述标准制品在两个或者更多个温度于所述测量设备上测量，产生所述标准制品在相应温度时对应的的两组或者更多组测量度量值。生成将所述标准制品的所述测量度量值与所述标准制品的已知度量相关联的一个或者多个误差图或者查找表或者函数。所述一个或者多个误差图、查找表或函数依赖于测量所述标准制品时的相应温度。使用源自于所述一个或者多个误差图、查找表或函数的校正值来校正系列生产工件的测量结果。这些校正值根据获得所述工件测量结果时的温度来确定。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 工件 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种在测量设备上进行的测量方法，所述测量方法包括：以参考工件形式提供标准制品，所述参考工件是待测量的一系列名义相同的工件中的一个工件，所述标准制品具有从所述测量设备的外部来源获知的度量，在两个或者更多个温度于所述设备上测量所述标准制品，并产生所述标准制品在相应温度时的两组或者更多组对应的测量度量值，测量在所述标准制品被测量时的所述温度，生成将所述标准制品的所述测量度量值与所述标准制品的已知度量相关联的一个或者多个误差图或者查找表或者函数，所述或者每个误差图、查找表或函数依赖于所述标准制品被测量时的所述相应温度。
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