[发明专利]具有探针卡的测试设备及连接器机构有效
申请号: | 201280042127.9 | 申请日: | 2012-07-06 |
公开(公告)号: | CN103930982A | 公开(公告)日: | 2014-07-16 |
发明(设计)人: | 布莱恩·J·鲁特;威廉·A·芬克;约翰·L·戴克李 | 申请(专利权)人: | 塞莱敦体系股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R1/073 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 仉玉新 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明揭示一种探针设备,该探针设备在一侧上具有带有接触结构的探针导线。该接触结构用于接触另一测试设备或组件,例如,电路板,上的各个接触结构。该探针导线具有探测需要接受测试的装置的尖端。信号穿过来自探针卡的该探针导线,例如,通过电路板,传输至其它诊断设备。该探针卡与该电路板的该接触允许信号穿过该探针导线传送至该其它诊断设备。在该探针卡的另一侧上是连接器结构。该连接器结构包含固位体,该固位体可允许自测试系统替换该探针卡,例如,允许该探针卡从固持器连接及断开连接。 | ||
搜索关键词: | 具有 探针 测试 设备 连接器 机构 | ||
【主权项】:
一种探针卡,其特征在于,包括:导线导引器;与该导线导引器连接的探针块,多个探针导线,所述多个探针导线由该导线导引器及探针块支撑,每一探针导线通过导线导引器以及所述探针块定位,每一探针导线包含延伸穿过该探针块的探针尖端,所述探针尖端形成阵列以探测受测试装置,每一探针导线包含自该导线导引器暴露的信号传输部分及防护部分,该信号传输部分及该防护部分形成接触结构且通过该阵列而安置于该探针卡的一侧上;及安置于该探针卡的另一侧上的固位体部件。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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