[发明专利]压电器件以及压电器件的制造方法有效
| 申请号： | 201280041623.2 | 申请日： | 2012-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN103765768A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 岩本敬 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/08;H01L41/313 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李逸雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明实现一种在稳定地实现稳固的接合的同时不会限制器件种类的压电器件的制造方法。为此，在压电单晶基板的接合面侧形成吸湿层(S103)。然后，使吸湿层吸湿水分(S105)。此外，在支承基板的接合面侧形成粘合剂层(S111)。然后，使吸湿层和粘合剂层叠合(S121)。然后，通过使用了吸湿层的水分的水解反应而使粘合剂层中含有的二氧化硅前体转化为二氧化硅(S122)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压电器件，具备：压电薄膜，由压电体构成；支承基板，在一个主面侧层叠有所述压电薄膜；氧化硅层，由氧化硅构成，且设置在所述压电薄膜与所述支承基板之间；和吸湿层，吸湿性高于所述压电薄膜以及所述支承基板的吸湿性，且与所述氧化硅层的大致整个面相接地设置在所述压电薄膜与所述支承基板之间。
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