[发明专利]泵浦探针测量装置

摘要

泵浦探针测量装置(1)具备如下超短光脉冲激光发生部(2)，其使作为泵浦光(3a)的第一超短光脉冲列和作为探测光的第二和第三超短光脉冲列(3b)、(3c)发生；光快门部(6)，其入射第二和第三超短光脉冲列(3b)、(3c)，并且还具有检测部(20)，该检测部(20)具备将泵浦光(3a)、第一探测光(3b)和第二探测光(3c)照射到试料(7)的照射光学系统(8)；检测来自试料(7)的探测信号的传感器(11)；与传感器(11)连接的相位敏感检测机构(12)，再有，通过光快门控制部(10)，周期性地调制第一探测光(3b)和第二探测光(3c)相对于泵浦光(3a)的延迟时问，将该经过调制的第一和第二探测光(3a)、(3b)交替照射到试料(7)上，使来自试料(7)的探测信号在与延迟时间的周期性的调制信号同步下由相位敏感检测机构(12)进行检测。

主权项

一种泵浦探针测量装置，其中，具备：超短光脉冲激光发生部，其使作为泵浦光的第一超短光脉冲列、相对于该泵浦光具有第一延迟时间而作为探测光的第二超短光脉冲列、和相对于该泵浦光具有第二延迟时间而作为所述探测光的第三超短光脉冲列得以发生；光快门部，其入射所述第二和第三超短光脉冲列，且将所述第二超短光脉冲列和所述第三超短光脉冲列交替地射出；光快门控制部，其控制所述光快门部；照射光学系统，其将所述泵浦光和所述探测光照射到试料；传感器，其检测来自所述试料的探测信号；相位敏感检测机构，其与所述传感器连接，所述第一超短光脉冲列经由所述照射光学系统作为所述泵浦光被照射到所述试料，所述第二和第三超短光脉冲列入射所述光快门部，且经由所述光快门控制部将所述第二超短光脉冲列和所述第三超短光脉冲列作为所述探测光交替地照射所述试料，由此将所述探测光相对于所述泵浦光的延迟时间进行周期性的调制，来自所述试料的探测信号按照与所述延迟时间的周期性的调制同步的方式由所述相位敏感检测机构加以检测。