[发明专利]带电粒子线装置

摘要

本发明的带电粒子线装置具备放出一次带电粒子线的带电粒子源(1)；使该一次带电粒子线会聚于样品(5)上的会聚透镜(2、4)；对由来自该样品上的照射点所放出的二次电子、反向散射电子构成的二次带电粒子(7)进行检测的检测器(80)；对来自所述检测器的信号进行波形处理来制成所述二次带电粒子的能量分布信息的波形处理部(9)；和选择所述能量分布信息的任意能量范围的信息并在显示部进行图像显示的控制部(10)。由此，能简便辨别二次电子、反向散射电子的角度和能量，实现了可使观察对象样品的必要信息进行图像化的带电粒子线装置。

主权项

一种带电粒子线装置，该带电粒子线装置是扫描型带电粒子线装置，其具备放出一次带电粒子线的带电粒子源、使该一次带电粒子线会聚在样品上的会聚透镜、以及对从该样品上的照射点放出的二次带电粒子进行检测的检测器，所述带电粒子线装置的特征在于，还具备：波形处理部，其对来自所述检测器的信号进行波形处理，生成二次带电粒子的能量分布信息；和控制部，其选择所述能量分布信息的任意能量范围的信息，在显示部进行图像显示。