[发明专利]带电粒子线装置

权利要求书

1.一种带电粒子线装置，该带电粒子线装置是扫描型带电粒子线装置，其具备放出一次带电粒子线的带电粒子源、使该一次带电粒子线会聚在样品上的会聚透镜、以及对从该样品上的照射点放出的二次带电粒子进行检测的检测器，

所述带电粒子线装置的特征在于，还具备：

波形处理部，其对来自所述检测器的信号进行波形处理，生成二次带电粒子的能量分布信息；和

控制部，其选择所述能量分布信息的任意能量范围的信息，在显示部进行图像显示。

2.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述带电粒子线装置具备与所述带电粒子源不同的第二带电粒子源，

使来自该第二带电粒子源的带电粒子线照射至样品。

3.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述控制部能选择至少2个以上的能量范围，将与各个能量范围对应的信号重叠而在所述显示部进行图像显示。

4.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述波形处理部获取对能量分布实施了微分处理的能量分布。

5.根据权利要求3所述的带电粒子线装置，其特征在于，

针对由所述控制部选择出的多个能量范围的信号，显示改变信号比进行了重叠而得到的图像。

6.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述检测器具备下述功能，即：还对通过所述一次带电粒子线与所述样品的相互作用而产生的特性X射线进行检测，并设定与特定的X射线对应的能量范围、和所述二次带电粒子的任意能量范围，仅在所设定的X射线的能量范围中有信号时，对所设定的能量范围的二次带电粒子的信息进行图像显示。

7.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述检测器是PIN型光电二极管、PN结型光电二极管、雪崩光电二极管或者硅漂移元件。

8.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述检测器是由闪烁体、光电倍增管所构成的检测器。

9.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述检测器是微通道板或者电子倍增管。

10.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述检测器是超导检测元件。

11.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述检测器在同轴以及/或者圆周方向被分割成检测区域，由所述波形处理部对来自各个检测区域的信号进行处理。

12.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述检测器具备能量过滤器，该能量过滤器对所述二次带电粒子的能量分布的低能量侧的阈值进行设定。

13.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述带电粒子线装置具备用于放置所述样品的样品台；和

对该样品台施加电压的电源。

14.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

与所述一次带电粒子线轨道轴同轴地配备电极，并具备对该电极施加电压的电源。