[发明专利]扫描电子显微镜及扫描透过电子显微镜有效
| 申请号： | 201280035812.9 | 申请日： | 2012-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN103703537A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 稻田博实;中村邦康 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/153;H01J37/21;H01J37/244 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李逸雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的扫描透过电子显微镜为了能够实现0.1nm原子尺寸结构的三维观察而具有球面像差系数小的电子透镜系统。再有，本发明的扫描透过电子显微镜具有：能够变更照射角的光圈、能够变更电子射线探针的探针尺寸及照射角度的照射电子透镜系统、二次电子检测器、透过电子检测器、前方散射电子射线检测器、焦点可变装置、识别图像的对比度的图像运算装置、对图像清晰度进行运算的图像运算装置、进行图像的三维构筑的运算装置、及对二次电子信号与样本前方散射电子信号进行混合的混频器。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 透过 | ||
【主权项】：
一种扫描电子显微镜，其搭载物镜、和对物镜的球面像差进行补偿的球面像差补偿器，该扫描电子显微镜的特征在于，具备二次电子检测器和焦点可变装置，记录通过该二次电子检测器得到的多个具有原子分辨率的二维样本放大扫描像，使在由该焦点可变装置设定的焦点值下拍摄到的二维样本放大扫描像、和该焦点值关联，重叠所述多个二维样本放大扫描像，对原子分辨率的三维结构放大像进行重构。
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