[发明专利]利用硬质膜被覆而成的硬质膜被覆构件及其制造方法有效
| 申请号： | 201280028480.1 | 申请日： | 2012-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN103597118B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 涩泽邦彦 | 申请（专利权）人： | 太阳诱电化学科技株式会社 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;B32B15/04;C23C16/26;C23C18/32;C25D5/30;C25D7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张玉玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 根据本发明的实施方式，提供一种硬质膜被覆构件，其是在包含软质金属的基材上以比以往更佳的密接性被覆非晶质碳膜等硬质膜而成的。本发明的一个实施方式的硬质膜被覆构件(1)具备：包含软质金属的基材(10)；在上述基材上成膜并在成膜于上述基材上的状态下为非晶状的化学镀镍层(30)；和形成于上述化学镀镍层上的硬质膜(40)。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 质膜 被覆 构件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种硬质膜被覆构件，其具备：包含软质金属的基材、形成于所述基材上的非晶状的化学镀镍层、形成于所述化学镀镍层上的含有Si的非晶质碳膜即中间层，和形成于所述中间层上的维氏硬度大于所述中间层的硬质膜。
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