[发明专利]利用硬质膜被覆而成的硬质膜被覆构件及其制造方法有效
申请号: | 201280028480.1 | 申请日: | 2012-06-18 |
公开(公告)号: | CN103597118B | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
发明(设计)人: | 涩泽邦彦 | 申请(专利权)人: | 太阳诱电化学科技株式会社 |
主分类号: | C23C28/00 | 分类号: | C23C28/00;B32B15/04;C23C16/26;C23C18/32;C25D5/30;C25D7/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张玉玲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 利用 质膜 被覆 构件 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及利用硬质膜被覆而成的硬质膜被覆构件及其制造方法。
背景技术
已知有为了提高包含软质金属的基材的耐摩性、耐候性、耐酸性、耐碱性等而以非晶质碳膜等硬质膜被覆基材表面的表面处理技术。但是,在基材包含铝、铝合金等软质金属的情况下,由于基材与硬质膜的硬度差较大,因此被指出存在硬质膜容易从基材剥离的问题。为此,较理想的是使硬质膜以良好的密接性形成于基材表面。
作为意欲将硬质膜以良好密接性形成于基材表面的专利申请的例子,有日本特开2004-346353号公报(专利文献1)。在专利文献1中公开了在铝基材的表面隔着化学镀Ni-P层而形成非晶质碳膜的成膜方法。在该专利文献1的成膜方法中,在非晶质碳膜的成膜时对化学镀Ni-P膜进行热处理而使化学镀Ni-P层结晶化,从而使膜的硬度从基材向非晶质碳膜呈阶梯式地增大,由此提高非晶质碳膜与下层的密接性。此外,在日本特开平3-134184号公报(专利文献2)中还公开了以下内容:对在铝基材和硬质膜之间形成的化学镀Ni-P层进行加热而使其固化,由此使硬度从基材侧向表面呈阶梯式地增加,提高硬质膜与下层的密接性。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2004-346353号公报
专利文献2:日本特开平3-134184号公报
发明内容
发明所要解决的课题
根据本发明人的验证,在以硬质膜被覆软质金属的以往的硬质膜被覆构件中,硬质膜与下层的密接性并不充分。为此,本发明的目的在于提供一种硬质膜被覆构件,其是在包含软质金属的基材上以比以往更佳的密接性被覆非晶质碳膜等硬质膜而成的。
用于解决课题的手段
本发明的一个实施方式的硬质膜被覆构件具备:包含软质金属的基材、形成于上述基材上的非晶状的化学镀镍层、和形成于上述化学镀镍层上的硬质膜。虽然具有化学镀镍层的以往的硬质膜被覆构件利用加热处理而使化学镀镍层结晶化,但在本发明的一个实施方式中,将硬质膜被覆构件的制造工序中的对化学镀镍层的加热抑制在低于260℃的温度,以使在硬质膜被覆构件的完成体中化学镀镍层具有非晶结构。
发明效果
根据本发明的各个实施方式,提供一种硬质膜被覆构件,其是在包含软质金属的基材上以比以往更佳的密接性被覆非晶质碳膜等硬质膜而成的。
附图说明
图1是示意性表示本发明的一个实施方式的硬质膜被覆构件的图。
图2是表示在测定条件1下的试样1的磨耗次数所对应的摩擦系数的变化的图表。
图3是表示在测定条件2下的试样1的磨耗次数所对应的摩擦系数的变化的图表。
图4是在测定条件1下压头往返10次后拍摄所得的试样1的表面的照片。
图5是在测定条件2下压头往返31次后拍摄所得的试样1的表面的照片。
图6是表示在测定条件1下的试样2的磨耗次数所对应的摩擦系数的变化的图表。
图7是表示在测定条件2下的试样2的磨耗次数所对应的摩擦系数的变化的图表。
图8是在测定条件1下压头往返23次后拍摄所得的试样2的表面的照片。
图9是在测定条件2下压头往返21次后拍摄所得的试样2的表面的照片。
图10是表示在测定条件1下的试样3的磨耗次数所对应的摩擦系数的变化的图表。
图11是表示在测定条件2下的试样3的磨耗次数所对应的摩擦系数的变化的图表。
图12是在测定条件1下压头往返100次后拍摄所得的试样3的表面的照片。
图13是在测定条件2下压头往返100次后拍摄所得的试样3的表面的照片。
图14是表示在测定条件1下的试样4的磨耗次数所对应的摩擦系数的变化的图表。
图15是表示在测定条件2下的试样4的磨耗次数所对应的摩擦系数的变化的图表。
图16是在测定条件1下压头往返100次后拍摄所得的试样4的表面的照片。
图17是在测定条件2下压头往返100次后拍摄所得的试样4的表面的照片。
图18是表示在测定条件1下的试样5的磨耗次数所对应的摩擦系数的变化的图表。
图19是表示在测定条件2下的试样5的磨耗次数所对应的摩擦系数的变化的图表。
图20是在测定条件1下压头往返5次后拍摄所得的试样5的表面的照片。
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