[发明专利]飞行时间型质量分析装置

摘要

使用静电透镜(3)作为将离子送入正交加速部的离子入射光学系统，在该静电透镜(3)中沿着离子光轴(C)配置有五个圆筒状电极(31～35)，并在无焦点条件下形成的两个虚拟凸透镜(L1、L2)的共焦面上配置有孔板(38)。由形成在孔板(38)的光圈开口(39)的直径决定射出离子束的角度扩散度。当设定施加电压使得静电透镜(3)成为无焦点系统时，虽然会牺牲些许灵敏度，但能够进行高质量分辨率的测量，当设定施加电压使得静电透镜(3)成为离子通过率最大的非无焦点系统时，虽然会牺牲些许分辨率，但能够进行高灵敏度的测量。由此，在正交加速式TOFMS中，能够简单地切换质量分辨率优先模式和测量灵敏度优先模式。

主权项

一种飞行时间型质量分析装置，是正交加速方式的飞行时间型质量分析装置，具备：正交加速部，其使入射而来的离子向与该离子的入射轴正交的方向加速；以及离子入射光学系统，其将离子送入到该正交加速部，该飞行时间型质量分析装置的特征在于，上述离子入射光学系统具备：a)静电透镜，其包括沿着离子光轴配置的五个以上的圆筒状电极；b)电压施加单元，其向上述圆筒状电极分别施加电压以使上述静电透镜成为无焦点系统；以及c)光圈单元，其在通过上述电压施加单元施加电压以使上述静电透镜成为无焦点系统的状态下，配置在由上述五个以上的圆筒状电极的一部分电极形成的前级虚拟凸透镜和由该五个以上的圆筒状电极的一部分电极形成的后级虚拟凸透镜的共同的焦点面上，并且在离子光轴上具有规定大小的开口。