[发明专利]固体摄像装置无效
申请号: | 201280010614.7 | 申请日: | 2012-02-06 |
公开(公告)号: | CN103404124A | 公开(公告)日: | 2013-11-20 |
发明(设计)人: | 广濑裕;宫川良平;上田哲也;加藤刚久 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H04N5/369 | 分类号: | H04N5/369;H01L27/146;H04N5/357;H04N5/374 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 安香子;黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及的固体摄像装置(101)具备:基板(318);多个下部电极(311),以分别电分离的方式,呈矩阵状被配置在基板(318)的上方;极薄绝缘膜(310),完全覆盖多个下部电极(311),且被平坦化;光电转换膜(308),被形成在极薄绝缘膜(310)的上方,将光转换为信号电荷;上部电极(307),被形成在光电转换膜(308)的上方;以及信号读出电路(220),被形成在基板(318)上,通过检测在多个下部电极(311)的每一个中发生的电流或电压的变化,从而生成与信号电荷对应的读出信号,极薄绝缘膜(310)能够传导电子以及空穴的至少一方。 | ||
搜索关键词: | 固体 摄像 装置 | ||
【主权项】:
一种固体摄像装置,具备:基板;多个第一电极,以分别电分离的方式,呈矩阵状被配置在所述基板的上方;由绝缘体构成的绝缘体层,覆盖所述多个第一电极,该绝缘体层的上面被平坦化;光电转换膜,被形成在所述绝缘体层的上方,将光转换为信号电荷;第二电极,被形成在所述光电转换膜的上方;以及信号读出电路,被形成在所述基板上,通过检测按照所述信号电荷而在所述多个第一电极的每一个第一电极中发生的电流或电压的变化,从而生成读出信号,所述绝缘体层,通过隧道效应能够传导电子以及空穴的至少一方。
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