[实用新型]一种真空摇摆机械手

摘要

本实用新型提供一种真空摇摆机械手，包括：适于抓取样品的夹持机构(14)；连接夹持机构(14)的传动套管(8)和传动连杆(9)，它们能够相对滑动；手动的操纵机构(10)；密封固定在真空腔体上的法兰(1)，法兰(1)具有开口；适于将传动套管(8)活动支承在法兰上的支承机构(20)；沿轴向套设在传动套管(8)外的第一波纹管(6)和直径小于且长度大于其的第二波纹管(13)，它们在夹持机构(14)和法兰(1)之间形成柔性密封连接并且彼此由连接件(7)密封连接。其中，法兰(1)的开口的口径较大并且连接件(7)能够在传动套管(8)上滑动，从而使得本实用新型的机械手最大摆动张角不小于60度。

主权项

一种真空摇摆机械手，包括：抓取样品的夹持机构(14)；在前端连接该夹持机构(14)的传动套管(8)；在前端连接该夹持机构(14)并可滑动地穿设在该传动套管(8)内的传动连杆(9)，该传动连杆(9)相对该传动套管(8)的轴向滑动能够控制该夹持机构(14)的开闭；连接在该传动套管(8)后端以及该传动连杆(9)后端的操纵机构(10)，通过该操纵机构(10)能够控制该传动套管(8)的移动和摆动以及该传动连杆(9)相对该传动套管(8)的轴向滑动进而控制该夹持机构(14)的移动和开闭；密封固定在真空腔体上的法兰(1)，该法兰(1)具有供该传动套管(8)穿设的开口；沿轴向套设在该传动套管(8)外的第一波纹管(6)和直径小于且长度大于该第一波纹管(6)的第二波纹管(13)，该第一波纹管(6)和该第二波纹管(13)彼此通过连接件(7)对接并且设置在该夹持机构(14)和该法兰(1)之间以对该传动套管(8)和该支承机构(20)形成密封，该第一波纹管(6)主要提供弯曲的柔性而该第二波纹管(13)主要提供伸缩的柔性；其特征是，该机械手还包括适于将该传动套管(8)活动支承在该法兰(1)上的支承机构(20)；该法兰(1)的开口内缘上的任一点与旋转球(5)球心所形成的连线与该传动连杆(9)轴线的夹角均不小于60度，该连接件(7)能够在该传动套管(8)上沿轴向滑动从而使得该传动套管(8)的最大摆动张角不小于60度。