[实用新型]一种共面电容传感器的非导电介质薄膜厚度在线检测装置

摘要

本实用新型公开了一种共面电容传感器的非导电介质薄膜厚度在线检测装置，包括检测电路、数据采集卡、接口转换器、计算机；检测电路包括测量激励电路、参考电容、主放大器、传感器测量电容、信号解调电路、信号分离电路、校准放大电路。本实用新型具有适应性强、无射线污染、动态响应好、可以实现非接触测量、自身温度系数小等优点，在非导电介质薄膜厚度在线测量中有广泛应用。

主权项

一种共面电容传感器的非导电介质薄膜厚度在线检测装置，包括检测电路、数据采集卡、接口转换器、计算机，其特征在于： 检测电路包括测量激励电路Vs、参考电容Cs、主放大器、传感器测量电容CT、信号解调电路、信号分离电路LP、校准放大电路；测量激励电路Vs用于产生正弦载波信号，与主放大器、参考电容Cs、传感器测量电容CT构成运算式测量电路，它将电容量的变化转化为易于传输的电压信号，实现电容‑电压的转换，并将电压信号进行调制，降低传输过程中的噪声干扰；主放大器用于将微弱的信号放大，以匹配后续电路；信号解调和信号分离电路LP用于将放大电路的输出信号进行解调，取出变化电压的直流分量；校准放大电路用于对变化电压的直流分量进行校准放大后送入数据采集卡； 数据采集卡用于实现对接收到的变化电压的直流分量信号进行A/D转换； 接口转换器用于实现数据采集卡与计算机的通讯。