[实用新型]一种区熔炉单晶夹持系统有效

专利信息
申请号: 201220682114.5 申请日: 2012-12-11
公开(公告)号: CN202968740U 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 付斌;闫志瑞;方峰;王学锋;陈海滨 申请(专利权)人: 有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司
主分类号: C30B13/00 分类号: C30B13/00
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人: 郭佩兰
地址: 100088 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种区熔炉单晶夹持系统,它包括:夹持套筒A,内轴套筒,所述的内轴套筒中心处设内轴轴头,内轴轴头与用于拉伸单晶的籽晶夹头连接,所述的夹持套筒A为锥形,锥顶为敞口,敞口的中心供单晶通过,所述单晶的细颈一端与籽晶连接,位于锥尖部下方的直线段设有顶丝孔,夹持套筒A与内轴套筒外部通过顶丝B固定,位于籽晶夹头下方的内轴轴头上套有挡渣板,挡渣板的外径与内轴套筒内径相匹配,在夹持套筒锥顶部设有多晶硅球流入口,在套筒的内侧与单晶的外侧的空间,且该空间的高度方向是从挡渣板的上方到锥顶敞口均布满支撑用的多晶硅球。系统优点是提升单晶在生产中的稳定性,不仅提高了单晶的完整实收率,同时也极大地降低了原料的损失,提高了生产效率。
搜索关键词: 一种 熔炉 夹持 系统
【主权项】:
一种区熔炉单晶夹持系统,其特征在于:它包括:夹持套筒A,内轴套筒,所述的内轴套筒中心处设内轴轴头,内轴轴头与用于拉伸单晶的籽晶夹头连接,所述的夹持套筒A为锥形,锥顶为敞口,敞口的中心供单晶通过,所述单晶的细颈一端与籽晶连接,位于锥尖部下方的直线段设有顶丝孔,夹持套筒A与内轴套筒外部通过顶丝B固定,位于籽晶夹头下方的内轴轴头上套有挡渣板,挡渣板的外径与内轴套筒内径相匹配,在夹持套筒锥顶部设有多晶硅球流入口,在由夹持套筒A与内轴套筒连成的套筒的内侧与单晶的外侧的空间,且该空间的高度方向是从挡渣板的上方到锥顶敞口均布满支撑用的多晶硅球。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司,未经有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201220682114.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top