[实用新型]一种区熔炉单晶夹持系统有效
申请号: | 201220682114.5 | 申请日: | 2012-12-11 |
公开(公告)号: | CN202968740U | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 付斌;闫志瑞;方峰;王学锋;陈海滨 | 申请(专利权)人: | 有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 郭佩兰 |
地址: | 100088 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 熔炉 夹持 系统 | ||
1.一种区熔炉单晶夹持系统,其特征在于:它包括:夹持套筒A,内轴套筒,所述的内轴套筒中心处设内轴轴头,内轴轴头与用于拉伸单晶的籽晶夹头连接,所述的夹持套筒A为锥形,锥顶为敞口,敞口的中心供单晶通过,所述单晶的细颈一端与籽晶连接,位于锥尖部下方的直线段设有顶丝孔,夹持套筒A与内轴套筒外部通过顶丝B固定,位于籽晶夹头下方的内轴轴头上套有挡渣板,挡渣板的外径与内轴套筒内径相匹配,在夹持套筒锥顶部设有多晶硅球流入口,在由夹持套筒A与内轴套筒连成的套筒的内侧与单晶的外侧的空间,且该空间的高度方向是从挡渣板的上方到锥顶敞口均布满支撑用的多晶硅球。
2.根据权利要求1所述的夹持系统,其特征在于:所述的在夹持套筒锥顶部设有多晶硅球流入口是通过电动阀门与盛放多晶硅球的容器相连,该容器通过连接杆与炉壁相连接。
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