[实用新型]氯硅烷残液回收装置

摘要

本氯硅烷残液回收装置由表面蒸发器和螺旋蒸发器构成，表面蒸发器由电动机驱动装置、残液进口、排气口、封头、人孔、分布盘、热媒夹套、钢丝刷架、电动机转轴、耙架、筒壁、热媒夹套出口、热媒夹套进口及残渣出口构成；螺旋蒸发器由筒体、电动机及驱动装置、螺旋体、热媒夹套、残渣进口、热媒夹套进口、热媒夹套出口，排气口及残渣出口构成，表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口气密连通。本装置通过两级蒸发器高温蒸发回收氯硅烷气体，可以从氯硅烷残液中高效回收氯硅烷达95%以上，既解决了被废弃的氯硅烷残液造成的环境污染的问题，又从废弃物中回收了大量可贵的多晶硅生产原料，大大降低了多晶硅生产成本。

主权项

一种氯硅烷残液回收装置，其特征在于由表面蒸发器和螺旋蒸发器构成，所述的表面蒸发器由电动机驱动装置（1）、残液进口（2）、排气口（3）、封头（4）、人孔（5）、分布盘（6）、热媒夹套（7）、钢丝刷架（8）、电动机转轴（9）、耙架（10）、筒壁（11）、热媒夹套出口（12）、热媒夹套进口（13）及残渣出口（14）构成，电动机转轴（9）自上而下贯穿表面蒸发器筒体，表面蒸发器的封头（4）与筒壁（11）焊接，残液进口（2）、排气口（3）、人孔（5）均位于封头（4）上，与封头（4）焊接连接，分布盘（6）固定在表面蒸发器筒壁（11）上端，分布盘（6）上均匀分布数个凹槽，每个残液进口（2）的下部各插在分布盘（6）的一个凹槽内，钢丝刷架（8）和耙架（10）分别固定在电动机转轴（9）上，热媒夹套（7）包裹在筒壁（11）上，热媒夹套进口（13）位于表面蒸发器筒壁（11）底部，热媒夹套出口（12）位于表面蒸发器筒壁（11）上部；所述的螺旋蒸发器由筒体（15）、电动机驱动装置（16）、螺旋体（17）、热媒夹套（18）、残渣进口（19）、热媒夹套进口（20）、热媒夹套出口（21）、排气口（22）及残渣出口（23）构成，热媒夹套（18）包裹在螺旋蒸发器筒体（15）上，残渣进口（19）位于螺旋蒸发器底部，螺旋体（17）与电动机驱动装置（16）固连为一体，电动机（16）的转轴自上而下贯穿螺旋蒸发器筒体（15），排气口（22）位于螺旋蒸发器筒体（15）上部，残渣出口（23）位于筒体上排气口（22）下方，表面蒸发器残渣出口（14）与螺旋蒸发器残渣进口（19）气密连通。