[实用新型]氯硅烷残液回收装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种多晶硅生产残液泥浆状氯硅烷回收装置。 

背景技术

氯硅烷是生产多晶硅的重要原料。多晶硅生产链上某些工序会产生大量的泥浆状氯硅烷残液。由于没有有效的处理、回收手段，大量的泥浆状氯硅烷残液成为废弃之物，有用的氯硅烷得不到合理利用，不仅严重污染环境，并且使多晶硅的生产成本很高。 

发明内容

鉴于目前多晶硅生产环节产生的大量泥浆状氯硅烷没有有效回收、处理手段，有用的氯硅烷得不到合理利用，严重污染环境，增加多晶硅生产成本的现状，本实用新型的目的是设计一种高效处理、回收氯硅烷残液的回收装置。 

本实用新型是一种氯硅烷残液回收装置，其特征在于由表面蒸发器和螺旋蒸发器构成，所述的表面蒸发器由电动机驱动装置、残液进口、排气口、封头、人孔、分布盘、热媒夹套、钢丝刷架、电动机转轴、耙架、筒壁、热媒夹套出口、热媒夹套进口及残渣出口构成，电动机转轴自上而下贯穿表面蒸发器筒体，表面蒸发器的封头与筒壁固连，残液进口、排气口、人孔均位于封头上，与封头焊接，分布盘固定在表面蒸发器筒壁上端，分布盘上均匀分布数个凹槽，每个残液进口的下部各插在分布盘的一个凹槽内，钢丝刷架和耙架分别固定在电动机转轴上，热媒夹套包裹在筒壁上，热媒夹套进口位于表面蒸发器筒壁底部，热媒夹套出口位于表面蒸发器筒壁上部；所述的螺旋蒸发器由筒体、电动机驱动装置、螺旋体、热媒夹套、残渣进口、热媒夹套进口、热媒夹套出口，排气口及残渣出口构成，热媒夹套包裹在螺旋蒸发器筒体上，残渣进口位于螺旋蒸发器底部，螺旋体与电动机及驱动装置固连为一体，电动机的转轴自上而下贯穿螺旋蒸发器筒体，排气口位于螺旋蒸发器筒体上部，残渣出口位于筒体上排气口下方，表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口气密连通。 

上述的表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口通过连接件将二者气密连通为一体，连接件可采用法兰盘或波纹管或短钢管。 

本实用新型通过两级蒸发器高温蒸发、回收氯硅烷气体的设计思想，使本实用新型氯硅烷残液回收装置结构简单，回收率高，便于实施。本实用新型氯硅烷残液回收装置，从氯硅烷残液中高效回收氯硅烷可达95%以上，既解决了被废弃的氯硅烷残液造成的环境污染的问题，又从废弃物中回收了大量可贵的多晶硅生产原料，大大降低了多晶硅生产成本。 

附图说明

图1 是本实用新型氯硅烷残液回收装置结构示意图。 

具体实施方式

实施例1 

如图所示，本实用新型氯硅烷残液回收装置由表面蒸发器和螺旋蒸发器构成，所述的表面蒸发器由电动机驱动装置1、残液进口2、排气口3、封头4、人孔5、分布盘6、热媒夹套7、钢丝刷架8、电动机转轴9、耙架10、筒壁11、热媒夹套出口12、热媒夹套进口13、残渣出口14构成。电动机转轴9自上而下贯穿表面蒸发器筒体，表面蒸发器的封头4与筒壁11焊接为一体，残液进口2、排气口3、人孔5均位于封头4上，与封头4焊接，分布盘6固定在表面蒸发器筒壁11上端，分布盘6上均匀分布数个凹槽，每个残液进口2的下部各插在分布盘6的一个凹槽内，钢丝刷架8和耙架10分别固定在电动机转轴9上，热媒夹套7位于筒壁11上，热媒夹套进口13位于表面蒸发器筒壁11底部，热媒夹套出口12位于表面蒸发器筒壁11上部；所述的螺旋蒸发器由筒体15、电动机驱动装置16、螺旋体17、热媒夹套18、残渣进口19、热媒夹套进口20、热媒夹套出口21，排气口22及残渣出口23构成，热媒夹套18包裹在螺旋蒸发器筒体15上，残液进口19位于螺旋蒸发器底部，螺旋体17与电动机及驱动装置16固连为一体，电动机16的转轴自上而下贯穿螺旋蒸发器筒体15，排气口22位于螺旋蒸发器筒体15上部，残渣出口23位于筒体上排气口22下方，表面蒸发器残渣出口14与螺旋蒸发器残渣进口19气密连通。

本实施例中，表面蒸发器残渣出口14与螺旋蒸发器残液进口19采用法兰盘连通。