[实用新型]一种槽式硅片清洗机及其抛动架有效
| 申请号： | 201220667603.3 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN202962962U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 梁宏健;朱峰;田欢 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种槽式硅片清洗机抛动架，包括用于与驱动装置相连的连接法兰和料篮承载端，料篮承载端包括底面骨架、顶面骨架和设置于顶面骨架和底面骨架之间的纵向支撑柱，底面骨架、顶面骨架和纵向支撑柱围成料篮容纳腔，且料篮容纳腔的底面和侧面上均包覆有过滤网。由于料篮容纳腔的底面和侧面上包覆有过滤网，因此在对硅片进行抛动清洗过程中，一旦硅片发生破碎，过滤网将会有效阻止破碎的硅片进入到清洗槽的底部，碎片将停留在抛动架料篮承载端的过滤网内，从而避免碎片对清洗槽底部的排水管路和排水阀所造成的危害，保证了硅片清洗机的正常运行。本实用新型同时还公开了一种安装有上述抛动架的槽式硅片清洗机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 及其 抛动架 | ||
【主权项】：
一种槽式硅片清洗机抛动架，包括用于与驱动装置相连的连接法兰（5）和料篮承载端，其特征在于，所述料篮承载端包括底面骨架（8）、顶面骨架（2）和设置于所述顶面骨架（2）和底面骨架（8）之间的纵向支撑柱（4），所述底面骨架（8）、顶面骨架（2）和纵向支撑柱（4）围成料篮容纳腔，且所述料篮容纳腔的底面和侧面上均包覆有过滤网（1）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英利能源（中国）有限公司，未经英利能源（中国）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220667603.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
