[实用新型]一种新型三氯氢硅合成炉有效
| 申请号： | 201220665071.X | 申请日： | 2012-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN202968139U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 梁进 | 申请（专利权）人： | 乐山永祥硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 方强 |
| 地址： | 614000 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型三氯氢硅合成炉，包括筒体、上封头和下封头，所述上封头和下封头分别固定在筒体的顶部和底部，所述筒体内设有筛板，所述上封头设有出气口，下封头设有排污口，所述筒体底部设有进气口和进气管连接头，所述进气管连接头插入进气口与筒体内部连通，所述进气管连接头倾斜固定在筒体底部，所述进气管连接头的气体输入端的位置高于气体输入端的位。本实用新型采用气体低进高出，不再需要用磁力泵打四氯化硅液体或粗品冷凝液进行循环喷淋洗涤，直接利用三氯氢硅合成气的压力，在高沸物洗涤装置里进行鼓泡洗涤，节约了电费，解决了磁力泵检修周期短的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 三氯氢硅 合成 | ||
【主权项】：
一种新型三氯氢硅合成炉，包括中间壳体（1）、上封头（2）和下封头（3），所述上封头（2）和下封头（3）分别通过法兰与中间壳体的顶部和底部固定连接形成炉体，所述中间壳体（1）包括上部除尘段（4）和下部反应段（5）；所述上部除尘段（4）的顶部设置有金属过滤器（6）；所述下部反应段（5）的长径比为12:1，其特征在于：所述上部除尘段（4）的顶部还设置有反冲装置。
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