[实用新型]一种新型三氯氢硅合成炉

权利要求书

1.一种新型三氯氢硅合成炉，包括中间壳体（1）、上封头（2）和下封头（3），所述上封头（2）和下封头（3）分别通过法兰与中间壳体的顶部和底部固定连接形成炉体，所述中间壳体（1）包括上部除尘段（4）和下部反应段（5）；所述上部除尘段（4）的顶部设置有金属过滤器（6）；所述下部反应段（5）的长径比为12:1，其特征在于：所述上部除尘段（4）的顶部还设置有反冲装置。

2.根据权利要求1所述的一种新型三氯氢硅合成炉，其特征在于：所述上部除尘段（4）截面积是下部反应段（5）截面积的5-8倍。

3.根据权利要求1所述的一种新型三氯氢硅合成炉，其特征在于：所述下封头内设有用于固定喷嘴的喷嘴管板，所述喷嘴管板上设有喷嘴，喷嘴伸入下部反应段内；所述下部反应段设有内换热器和加热器，所述内换热器的换热管分为内管和外管，所述外管的管端为对接焊缝形成锥形堵头，所述堵头的外直径大于换热管的外直径。

4.根据权利要求1所述的一种新型三氯氢硅合成炉，其特征在于：所述下部反应段的长度为3-4m，直径为800-1000mm。

5.根据权利要求3所述的一种新型三氯氢硅合成炉，其特征在于：所述加热器为电磁感应加热器。

6.根据权利要求3所述的一种新型三氯氢硅合成炉，其特征在于：所述内管和外管采用整根钢管弯制，内管的直径10-20mm，外管的直径30-40mm。

7.根据权利要求3所述的一种新型三氯氢硅合成炉，其特征在于：所述锥形堵头为实心块堵头。

8.根据权利要求1所述的一种新型三氯氢硅合成炉，其特征在于：所述上部除尘段（4）与下部反应段（5）的直径比为3:1。